試驗溫度

室溫+10℃ ~+150℃

試驗濕度

10%RH~98%RH

試驗方法

VGS, off = VGS, min，VGS, on = VGS, max

老化試驗區(qū)

14區(qū)（14/16區(qū) 可選）

單位工位

6（典型）

試驗電壓

50V ~ 1000V

電壓檢測精度

檢測誤差：±(2% ±1V)

脈沖控制

1. 脈沖頻率（方波）：10kHz ~ 50kHz，精度：2% ± 2LSB
2. 方波占空比 20% ~ 80%，精度：±2%
3. 電壓上升率 (dv/dt) ≥ 30V/ns（Coss < 300pF）
4. 電壓過沖視脈沖電壓幅度而定，最大不超過 10%VDS

VGS電壓測試范圍

被動式：-0.7V ~ -20V/0V
主動式：根據(jù)設備設定值：VGS電壓：正電壓 18V、20V、22V，3 種選擇；負電壓 -3V、-5V、-12V 任選

漏電流檢測

檢測范圍：0.1uA ~ 20mA
精度：
第一檔0.1uA ~ 0.999uA，分辨率為 0.01uA，精度：1% ± 0.02uA
第二檔1.00uA ~ 99.9uA，分辨率為 0.1uA，精度：1% ± 0.2uA
第三檔100uA ~ 999uA，分辨率為 1uA，精度：1% ± 2uA
第四檔1.0mA ~ 20.00mA，分辨率為 0.01mA，精度：1% ± 0.2mA

整機供電

三相AC380V ±38V

整機重量

1200Kg（典型）

整機尺寸

2000mm(W)×1505mm(D)×1950mm(H)